真空燒結(jié)爐，真空碳管爐，真空電阻爐，真空熱壓爐，真空鎢絲爐真空鉬絲爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)。是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。
真空燒結(jié)爐的緊急情況應(yīng)急處理辦法
● 冷卻水異常：
1、確認(rèn)加熱電源已停止。
2、爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時(shí)，應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施，如能保證水量，請(qǐng)繼續(xù)保持真空，如不能采取應(yīng)急措施，保持原狀，確認(rèn)設(shè)備冷卻下來。
3、冷卻水發(fā)生異常時(shí)，設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài)，馬上接通緊急用冷卻水。
4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時(shí)，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
●壓縮空氣的停止：
1、壓縮空氣異常***時(shí)，設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài)，應(yīng)盡快到備用的壓縮機(jī)房，讓其恢復(fù)工作。
2、真空中如壓縮空氣異常***，且恢復(fù)需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí)，則終止真空，讓設(shè)備停下來。
● 突然停電：
1、停電時(shí)，如果斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，接通水源。
2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長(zhǎng)時(shí)間，則將設(shè)備保持原狀。
3、如果正在加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，如果需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí)，則保持原狀，讓設(shè)備自然冷卻下來。
● 加熱電源掉電：
1、水壓低，當(dāng)水壓低于0.15MPa，壓力表***。
2、接地故障。
3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。
4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障，掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。
充氣氣體(氬氣或氮?dú)?停止：
1、抽真空開始前，氣體充入時(shí)間長(zhǎng)或者無法充入時(shí)，請(qǐng)確認(rèn)氣體管路是否被堵塞。
2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作，為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要全部停止后再進(jìn)行檢查。
3、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下，泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí)，要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。
4、確認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會(huì)影響制品質(zhì)量。
